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    工业气体和混合气体对配置装置的要求

    2021-04-23 09:18:51

      工业气体同其他标准气体制备不同的是,配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,电子混合气体配气装置所用的管路是EP(电解研磨)级别,材质为316L,精.密压力表或压力传感器精度优于0.25级,材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统:正压试验1.5倍工作压力,持压30min;真空氦检漏:≤10-9atm.cc/s;系统水分:≤-80℃;微量氧:≤10×10-9;颗粒物测定:≤1EA/ft3at0.1μm;≤5EA/ft3at0.05μm。为了防止产生颗粒物,装置应配有耐高压、耐腐蚀过滤器,如PALL产0.003μm不锈钢烧结或PTFE滤芯,并不定期对气体过滤器的过滤效果进行评价和测量,当过滤效果下降,应立即更换滤芯或过滤器。

      工业气体等电子混合气常用的平衡气或称底气:N2、H2、He、Ar、O2;组分气:PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等,为了减少平衡气体中有害杂质的含量,设有平衡气体高压净化器,通过净化平衡气的纯度大于百分之99.9999,在净化器的出口设有在线H2O、O2检测仪表,随时反映净化器出口气体关键杂质的含量,这些净化器内置气体过滤器。由于组分气体属于剧毒或有毒化学品,吹扫气、放空气、真空泵排出气不能排放大气,化学法虽然能够通过反应进行中和,但由于涉及水溶液,因此,该法不是推荐方法,我们通常采用催化分解或燃烧的方法,可有效解决除AsH3以外的有毒气体,AsH3处理只是由气态有毒物变为固态而已。

      为了避免交叉污染,工业气体配气设备的数量应根据业务情况确定,这一点十分重要,如配完B2H百分之65-H2混合气,由于B2H6的化学特性,通过吹扫抽空很难在短时间内将吸附在系统内的残存B2H6吹净,若该系统再配制PH3混合气,无疑将严重污染该气体。由于它们同属于掺杂气体,稍有残留将无法使用。

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