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高纯气体用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;与四氟化碳混合,用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧,例如炼钢时除硫
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一氧化碳,一种碳氧化合物,化学式为CO,化学式量为28.0101,通常状况下为是无色、无臭、无味的气体。物理性质上,一氧化碳的熔点为-205℃,沸点为-191.5℃,难溶于水(20℃时在水中的溶解度为0.002838g),不易液化和固化。化